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  • 碳化硅籽晶粘接設備.1.jpg

SiC籽晶粘接設備


所屬分類(lèi):

第三代半導體工藝設備


概要:

? 籽晶的粘接工藝技術(shù)是將SiC籽晶通過(guò)有機膠粘接在石墨紙上,提高籽晶粘接質(zhì)量是保證高品質(zhì)SiC晶體生長(cháng)的首要前提。


關(guān)鍵詞:

SiC籽晶粘接



SiC籽晶粘接設備


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